光学薄膜技术

光学薄膜是应用在大多数光产品中的基本要素之一。Santec的光学部品、波长可变光源等光应用产品中都应用到了减反射膜、高反射镜、部分反射膜和带通滤波器等多样光学薄膜。

作为支持光应用制品的核心技术之一，Santec从事于光学薄膜的研发与制造。根据用途的不同，分别使用下面的成膜装置。

• IAD(Ion Assisted Deposition)离子束辅助镀膜法
• RAD(Radio Frequency Assisted Deposition)RF辅助镀膜法
• IBS(Ion Beam Sputtering method)离子束溅射法

Santec共拥有成膜装置12台。
可直接给玻璃基板、GRIN透镜镀膜。

下面图是部分我们自主研发的应用了光学薄膜技术的光应用产品

关于Grand-Ex镀膜技术

我们正在进行被称为“Grand-Ex镀膜技术”的最先端光学镀膜技术的研发。
该技术具有以下三个显著特点：

只有在实现了上述三方面技术要素后才能真正称得上是实用型光学薄膜技术。

光学薄膜简介

下面简单介绍一下应用了Grand-Ex镀膜技术的典型例子。

１、 极低反射膜（super anti-reflective coating）

２、终极波长选择滤波器（super PON filter）

１．极低反射膜（super anti-reflective coating）

通常减反射膜的反射率低于0.2%，相对于此极低反射膜的反射率低于0.01%。

左图中显示的是由2层构成的是极低反射膜的例子。可降低对应于极窄波长带宽的光的反射率。通常称为V-coating。在此反射率评价试验中我们应用了自主研发的超宽带域光源（型号：UWS-1000）。

左图中显示的是由4层构成的极低反射膜的例子。可降低波长在数十纳米范围内的光的反射率。通常称为W-coating。图中显示出测量值（蓝线）与设计值（绿线）具有良好的一致性。

左图中显示的是由8层构成的极低反射膜的例子。可降低波长范围在200纳米的宽带域中的光的反射率。图中显示出测量值（红线、蓝线）与设计值（绿线）具有良好的一致性。

２．终极波长选择滤波器（super PON filter）

次世代WDM-PON通信方式中，在各用户末端（ONU装置）要求具有30dB以上的信号分离特性。使用一枚Santec生产的终极波长选择滤波器就可满足上述要求。反射、透射分离性能在35dB以上。

左图显示的是反射分离特性。测量值（红线）与设计值（绿线）显示出良好的一致性。由118层购成的波长分离滤波器在波长在1525nm～1640nm范围内的反射率接近40dB。

左图中显示的是透射分离特性。测量值（红线）与设计值（绿线）具有良好的一致性。

这里所介绍的是目前只有我们公司成功实现了的光学薄膜技术。

我们将通过应用了我们所拥有的世界最先进光学薄膜技术的光应用产品向全社会贡献力量。