MEMS駆動アッテネータのお取り扱い注意

MEMS駆動アッテネータのお取り扱い注意

MEMS駆動アッテネータのお取り扱い注意

平素は弊社製品を御愛顧戴き有難うございます。
MEMSの構造は回転軸で支えられた上部電極層と下部電極が絶縁層を介した3層構造になっております。(図1bご参照)そして、製品に電位差を与えますと上部電極層と下部電極に静電引力が働き、その電位差の度合いに従って回転軸を中心にミラー面が傾きます。このミラー面が傾きによって光軸がずれ、減衰量を得る仕組みとなっております。

MEMSにコンタクト電圧(ミラーが支持基板に接触する電圧)以上の電圧が加わった場合、電極間をショートして電荷を除去してもミラーが戻らないことが稀に発生します。この現象をスティクション(貼りつき)と呼んでおります。スティクションは正常なお取り扱い時には発生しない現象ですので、静電対策を行って頂き、過剰な電圧がかからないようなお取り扱いをお願い致します。




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