MEMS

MEMS

santecでは2002年から光通信用の部品にMEMS技術を適用するべく取り組んでまいりました。東京大学の藤田・年吉研究室との共同開発で基本的な設計を固めて、その後MEMSファウンドリで委託生産を進め、2003年には図1のMEMSを用いた可変光減衰器を製品化いたしました。

MEMSとは

MEMSとはMicro Electrical-Mechanical Systems の略で直訳すると微小電気機械システム、すなわち電気で動く非常に小さな機械のことです。既にいろいろな場所に使われていて、たとえば体の動きに反応してくれるゲームコントローラ用の加速度センサ、携帯電話やPC用の小型マイク、プレゼンテーションで使用されるプロジェクタ用の小型ミラーアレイなど身近なところにもたくさんあります。従来の機械加工がドリルなどの工具を使って材料の塊を削っていたのに対して、MEMSはLSIなどの生産に使用される半導体製造技術を応用して作られます。そのため数ミクロン(1ミクロンは0.001mm)の精度で小さな機械をつくれるため、様々な部品を劇的に小型化することができます。また、半導体と同じく一度に沢山の部品を作れるため、部品の価格を安くすることもできます。





光通信部品で活用されています

santecでは2002年から光通信用の部品にMEMS技術を適用するべく取り組んでまいりました。東京大学の藤田・年吉研究室との共同開発で基本的な設計を固めて、その後MEMSファウンドリで委託生産を進め、2003年には図1のMEMSを用いた可変光減衰器を製品化しております。可変光減衰器は電気でたとえると可変抵抗器のようなもので、光通信網のあらゆる場所に使用される重要な部品です。図2は開発したMEMSデバイスの写真です。非対称駆動型平行平板型チルトミラーとよばれる独自のアイディアを取り入れて構造をシンプルにし、短期間での実用化を可能にしました。既に多くのお客様にご使用いただいており、世界中の光通信システムの中で通信インフラを支えております。

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新たな応用分野

また、新たな取り組みとしてMEMSの医療機器への応用も検討しております。図3は内視鏡用のプローブにMEMSを利用したものです。現在santecで開発中のOCT(Optical Coherence Tomography)と合わせて使用することで、光バイオプシと呼ばれる人にやさしい非浸襲な最先端医療を実現するものとして期待されています。

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