Beyond Imaging
光学式3次元計測
3D Optical Profiler
OPS-1000Preliminary!
OPS-1000は高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用した、世界最高感度の光学式三次元計測器です。本製品はヘテロダイン検波方式により、約100dBという、
3次元計測器では世界最高レベルの最小受光感度を実現しております。また、70dB
以上の測定ダイナミックレンジを有するため、形状、材料、色、表面状態を問わず、非接触・高速・高精度測定が可能です。スピード、感度、測定距離などの特性は
カスタマイズも可能ですのでお問い合わせください。
【特徴】
1. 超高感度
最小受光感度100dB、すなわち照射光に対し1/10^10の光が受光できれば計測
できます。また、ダイナミックレンジ70dB、すなわち10^7の受光信号強度の差が
有っても同時計測が可能です。
2. 同軸計測
同軸計測により、複雑な形状でも容易に測定できます。
最大40万点／秒の高速測定により製造工程での全数自動検査を可能にします。
4. 長い測定距離
最長1mと非常に長い測定レンジを有しており、複雑な形状だけでなく大きな凹凸
形状も測定可能です。
5. 外乱光の影響を受けない
干渉を計測原理として用いているため、太陽の光や照明などの外乱光の影響を
受けません。また、レーザー溶接時に形成されるキーホールの形状でも計測
可能です。
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工業製品の3次元寸法測定
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欠陥の３次元検出
- 寸法、形状、外観検査工程の自動化
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加工中のプロセス管理
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OPS-1000-100 |
OPS-1000-50 |
OPS-1000-6 |
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分解能 [um] |
XY |
200 |
80 |
10 |
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Z |
10 |
1 |
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繰り返し精度 [um] |
XY |
±25 |
±10 |
|
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Z |
±10 |
±1 |
||
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測定範囲 [mm] |
Z |
1,000 |
32 |
32 |
|
XY |
720 |
180 |
15 |
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ワーキングディスタンス [mm] |
1,040 |
520 |
35 |
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