無償測定キャンペーン

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【製品のご紹介】
高精度ウエハ厚分布測定器「TMS-2000」
光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用して、高精度ウエハ厚分布測定器を実用化致しました。
本製品はSEMI規格に準拠した平坦度を、グローバル、サイト、エッジごとに1 nmの精度で計測できます。
従来装置では温度変動や振動などの環境変化が有る場合には精度が低下してしまい、限られた使用方法となっていましたが、本製品はそのような環境変化にも高い耐性を有し、且つ小型、高速、低価格を実現しております。
これによりインライン検査も含めた、幅広いアプリケーションへの導入が想定されます。
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光学三次元測定器「OPS-1000」
非接触、高速、高精度で三次元計測が可能です。
本製品は高速波長可変レーザを用いたヘテロダイン検波方式を採用することで、世界最高レベル*の測定感度を実現し、測定物の表面状態、形状、材質、色を問わず計測が可能です。
従来の光学測定器では計測出来なかった鏡面、角度の付いた面、ガラス面においても、その高い測定感度により計測出来ます。
*製品化されている光学三次元測定器における最小受光感度（当社調べ）
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光学断層測定器「IVS-2000」
OCT(Optical Coherence Tomography)は近赤外光を用いた非接触、非破壊、非侵襲なイメージング技術で、光を少しでも透す材質であれば、内部を可視化することが可能です。
当社のOCTはSwept Source-OCT方式を採用しており、高感度に、より深くイメージングが可能となり、欠陥検査、非破壊検査、膜厚測定等のインライン検査でご利用頂いております。
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