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Performance and Innovations

シリコンでできた微小なメカニズム、MEMS

MEMSとは

MEMSとはMicro Electro Mechanical Systems の略で直訳すると微小電気機械システム、すなわち電気で動く非常に小さな機械のことです。既にいろいろな所で使われています。例えば体の動きに反応してくれるゲームコントローラ用の加速度センサ、携帯電話やPC用の小型マイク、プレゼンテーションで使用されるプロジェクタ用の小型ミラーアレイなど身近なところにもたくさんあります。従来の機械加工がドリルなどの工具を使って材料の塊から削っていたのに対して、MEMSは半導体プロセス技術を応用して作られます。そのため数ミクロン(1ミクロンは0.001mm)の精度で小さな機械を作れ、様々な部品を劇的に小型化することができます。また、半導体と同じく一度に沢山の部品を作れるため、部品の価格を安くすることもできます。MEMSはシリコン系材料からなり、環境に優しいエコ材料でもあります。

santecのMEMS技術

当社では2002年から東京大学藤田・年吉研究室と共同開発を進め、光通信用の部品にMEMS技術を適用するべく取り組んできました。その基本設計をもとにMEMSファウンドリでの委託生産を行い、2003年にMEMSを用いた可変光減衰器を製品化しました(図1)。可変光減衰器は電気でたとえると可変抵抗器のようなもので、光通信網のあらゆる場所で使用される重要な光部品です。開発したMEMSデバイス(図2)は、非対称駆動型平行平板型チルトミラーとよばれる独自のアイディアを取り入れており構造をシンプルにし、量産性に優れ短期間での実用化を可能にしました。既に多くのお客様にご使用いただいており、世界中の光通信システムの中で通信インフラを支えております。


図1

図2

MEMS応用デバイス

新たな取り組みとして医療機器への応用も検討しております。図3は内視鏡用のプローブにMEMSを利用したものです。現在、OCT(Optical Coherence Tomography)と合わせて使用することで、光バイオプシと呼ばれる人にやさしい非浸襲な最先端医療を実現するものとして期待されています。


図3