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空間光変調器

当社の反射型LCOS (liquid crystal on silicon) は高分解能用途に最適な空間光変調器です。Full High Definition (Full-HD)解像度, 10-bit (1024 階調)と優れた位相安定度(~0.003π rad.) は、精密な空間光変調器を要求する数多くの応用に最適なソリューションを提供します。

空間光変調器　製品ラインアップ

Model No. Features
SLM-300 高出力レーザー向け空間光変調器
SLM-250 紫外線耐性の優れた空間光変調
SLM-200 フルHD反射型SLM

高出力レーザー向け空間光変調器

SLM-300

SLM-300

SLM-300は、液晶及び放熱構造を最適化した世界最高レベルの高出力レーザー向け
空間光変調器です。 フルHD解像度（1920x1080画素）を有し、当社従来比100倍の
200W（ワット）クラスの高出力レーザーにご利用頂けるLCOS型空間光変調器です。水冷ヒートシンクを備えたLCOSヘッドを採用しており、対応波長は532nm､800nm､
1064nmの3波長となります。 これによりレーザー加工､3Dプリンター､IC用レーザートリミングなど主だった波長帯の高出力レーザーを用いた加工が可能となります。

特徴
仕様
波長オプション
紹介ビデオ
ダウンロード
論文
 
 
【特徴】
  • 高出力レーザー耐性のLCOS型SLM
  • 10ビット（1024階調）の優れた位相分解能
  • 超高位相安定性～0.003πrad.

【応用】
  • レーザー加工
  • ３Dプリンタ
  • ICトリミング

SLM-300 Specifications

Item min max Units Notes
Operating wavelength range 532 , 800 , 1064 nm  
Panel size (H) 15.36 x (V) 9.60 mm Active area
Pixel resolution (H) 1920 x (V) 1200 pixel  
Pixel size / pitch 7.8 / 8.0 μm  
Panel reflectivity Typ. ＞80 % Depending on specied wavelength range
Aperture ratio 95 %  
Gray level 10 (1024) bit  
Frame rate 60 or 120 Hz Factory default setting
LCOS drive frequency 1200 Hz  
Phase depth 2π - rad.  
Phase stability Typ. < 0.003π rad.  
Response time Typ. 200 ms  
Interface DVI* / USB 3.0 - *10-bit using RGB 8-bit, 3 colors
Operating temperature range 15 35 degC No condensation 
Storage temperature 0 40 degC  No condensation 
Optical power handling - 200 1) W/cm² CW @1064 nm
Dimensions 122 x 122 x 38.3 mm  
Control software GUI software and SDK for Windows -  
Water flow 1 - 2 L/min 15 - 25 degC
Water inlet and outlet Pipe fittings - Rc(PT) 3/8 inch female 2)

1) The value is not guaranteed. Please refer santec SLM technical sheet in one instance for judgement of useable light power.
2) Supports NPT standard using attached conversion adapters.

Wavelength option

Wavelength option

Introduction Video

カタログ

SLM-300 (English)

オペレーションマニュアル

製品マニュアルのダウンロードはこちらからお願いします。

当社のSLMを使用した論文

紫外線耐性の優れた空間光変調器

SLM-250

UV hardend Spatial Light Modulator SLM-250

SLM-250は、液晶及び光学薄膜構造を最適化した紫外線耐性の優れた空間光変調器です。フルHD解像度（1920x1080画素）を有し、当社従来製品（SLM-200)に比べて42倍の優れた紫外線耐性を有しています。波長範囲は365 nm～550 nmです。下図の紫外線耐久試験データより、波長365 nm、光強度10 mW/cm2の照射条件にて、製品寿命3年間を達成しました。製品保証は1年間です。

特徴
仕様
ダウンロード
論文
 
【特徴】
  • 紫外線耐性のLCOS型SLM
  • 10ビット（1024階調）の優れた位相分解能
  • 超高位相安定性～0.003πrad.
Figure 1 SLM-250, Lifetime test as a function of optical power handling.
Figure 1 SLM-250, Lifetime test as a function of optical power handling.

SLM-250 Specifications

Item min max Units Notes
Wavelength range 365 550 nm  
AR coat range 365 550 nm  
AR coat reflectance – 0.7 % Angle of incidence = 0 degree
Panel size (H) 15.36 x (V) 9.60 mm Active area
Pixel resolution (H) 1920 x (V) 1200 pixel  
Pixel size / pitch 7.8 / 8.0 μm  
Panel reflectivity Typ. > 70 %  
Aperture ratio 95 %  
Gray level 10 (1024) bit  
Frame rate 60 or 120 Hz Factory default setting
LCOS drive frequency 1200 Hz  
Phase depth 2π – rad.  
Phase stability Typ. < 0.003π rad.  
Response time Typ. 50 ms  
Interface D-DVI* / USB 3.0 – *10-bit using RGB 8-bit, 3 colors
Operating temperature range 15 35 degC No condensation 
Storage temperature 0 40 degC No condensation 
Optical power handling 1) Typ. 40 MW/cm² Peak power @355 nm, Pulse laser, pulse width 260 psec, repetition rate 100 Hz
– 10.0 mW/cm² @365 nm, 24 H/day continuous operation
Dimensions 122 x 122 x 38.3 mm  
Control software GUI software and SDK for Windows –  

1)The value is not guaranteed. Please refer santec SLM technical sheet in one instance for judgement of useable light power.

カタログ

SLM-250 (English)

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製品マニュアルのダウンロードはこちらからお願いします。

当社のSLMを使用した論文

フルHD反射型SLM

SLM-200

SLM-200

当社の反射型LCOS (liquid crystal on silicon) は高分解能用途に最適な空間光変調器です。Full High Definition (Full-HD)解像度、10-bit (1024 階調)と優れた位相安定度(~0.001π rad.) は、精密な空間光変調器を要求する数多くの応用に最適なソリューションを提供します。

特徴
仕様
アプリケーション
応用例
デモルーム
ダウンロード
論文

■操作が容易なGUI付属

■操作が容易なGUI付属

■高解像度

■高解像度

■高安定度

■高安定度

■波面補正

付属する校正データを用いることで2次元パネル内の位相を＜λ/40に補正することができます。

■高安定度

Specifications

Item min max Units Notes
Operating Wavelength range 450 1600 nm (Refer to appended table about AR coating option)
Panel size (H) 15.36 x (V) 9.60 mm Active area
Pixel resolution (H) 1920 x (V) 1200 pixel  
Pixel size / pitch 7.8 / 8.0 μm  
Panel reflectivity Typ. > 80 %  Depending on specified wavelength range
Aperture ratio 95 %  
Gray level 10 (1024) bit  
Frame rate 60 or 120 Hz Factory default setting
LCOS drive frequency 1200 Hz  
Phase depth 2π – rad.  
Phase stability Typ. < 0.001π rad.  
Response time Typ. 300 ms  
Interface DVI*/ USB 3.0 – *10-bit using RGB 8-bit, 3 colors
Operating temperature range 15 35 degC No condensation 
Storage temperature 0 40 degC No condensation 
Optical power handling  Typ. 10 1) W/cm² ＠1550 nm, CW, 2.0 mm beam diameter
Dimensions 117.6 x 117.6 x 33.7 mm  
Control software GUI software and SDK for Windows –  

1) The value is not guaranteed. Please refer santec SLM technical sheet in one instance for judgement of useable light power.




AR coating option

Item Parameter Units
Ordering code number -01 -02 -03 -04 -12 -14 –
AR coating range 450-550 750-850 1000-1100 1500-1600 400-700 450-550 / 1500-1600 nm
AR coating reflectance 2) < 0.5 < 1.5 < 0.6 %

2) Angle of incidence = 0 degree

■レーザー加工 / ハイパワー耐性

LCOSのハイパワー耐性に関して、いくつかの照射事例をご紹介します。これらの条件以外にも実際に使用されるパワー条件等を教示いただければシミュレーションすることも可能です。

■レーザー加工 / ハイパワー耐性

■波面補正

シャックハルトマンセンサーを用いたマイケルソン干渉系にて”λ/40”を 達成することができます。

■波面補正

■ホログラフィ

レーザー加工
オプトジェネティクス/光ピンセット
3Dプリンター/3Dホログラフィックディスプレイ
SLM-200専用プログラムを用いてホログラムを生成することができます。 ホログラムを用いることにより光利用効率が向上します。

■ホログラフィ

■光渦

光通信/空間分割多重
光ピンセット
光渦を生成することにより光ピンセット用途や空間分割多重通信(SDN：Space-division multiplexing)に応用できます。

■光渦

光ビーム操作
波面補正
光ビーム/波面整形
回折光学
光ピンセット
レーザー加工機 (※)
高精細なLCOSを搭載したSLM-200を用いてワンショット方式のレーザー加工機の開発を進めております。 本開発には分子科学研究所の
山本教授、平等教授と連携し取り組んでおります。特にワンショット方式の課題であったハイパワーレーザーは、平等教授開発のハイパワーマイクロチップレーザーを用いることで解決しております（※）。また、多点ビーム形成時の光利用効率を向上するためにホログラム技術を取り入れることも検討しております。

有機薄膜加工例
レーザー加工の方式別メリットとデメリット
レーザー加工の方式別メリットとデメリット

SLM-200を用いたレーザー加工機の社内デモを実施しております。 実際に加工したいサンプルを持参いただければテスト加工することができます。 加工サンプルに対する対応可否を検討しますので事前に営業担当までお問合せください。

■レーザー加工

サンプル持込みによるテスト加工
加工条件等、技術者サポートあり

■利用条件等

利用日　 ：　平日（※日程は営業担当者に問い合わせください。）
利用時間：　10時～17時

レーザー加工
Parameter Unit Specification Notes

Laser power

W/mm2

5.5

  

Laser type

–

固体ﾚｰｻﾞｰ(532nm)

他に488nmあり

Process area

mm

5 x 5

対物ﾚﾝｽﾞ倍率：X2

0.5 x 0.5

対物ﾚﾝｽﾞ倍率：X20

Resolution

µm

200

対物ﾚﾝｽﾞ倍率：X2

20

対物ﾚﾝｽﾞ倍率X20

カタログ

ソフトウエア

  • GUI Software
  • GUI Software (CGH generator)
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当社のSLMを使用した論文

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